Micro Chart JIMA RT RC-04B （Resolution Chart for X-Ray）

Micro Chart JIMA RT RC-04B（X射线分辨率测试卡）

采用最先进的半导体技术，实现了从10 µm到0.1 µm纳米级的23种线宽和线距。

最先进的 纳米焦点和微焦点分辨率X射线成像系统需要此分辨率测试卡来维护和检查其性能及日常校 准。

芯片横截面

吸收材料钨图布置在6.25毫米方形硅片中。芯片 安装在铝制外壳上，并用PET薄膜覆盖以保护芯 片。